SEM-N系列聚酰亞胺固化烤箱是一種清潔工藝烘箱，專為聚酰亞胺硬烘烤和固化應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
許多半導(dǎo)體制造環(huán)境的前端機(jī)器適用于聚酰亞胺固化。
這種昂貴的工藝導(dǎo)致設(shè)備在清潔度，惰性氣氛能力，循環(huán)時(shí)間或數(shù)據(jù)采集方面通常不適合聚酰亞胺固化。
SEM-N系列烤箱優(yōu)化了半導(dǎo)體的聚酰亞胺固化工藝
晶圓器件。它可以縮短周期時(shí)間，并為產(chǎn)品負(fù)載中的所有晶圓提供一致，可重復(fù)的固化過程。我們?yōu)镾EM-N系列烤箱設(shè)計(jì)了一個(gè)壓力釋放系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個(gè)可拆卸的“冷阱”，一個(gè)易于清潔的冷凝水收集器，有助于防止聚酰胺在爐內(nèi)排氣中積聚。
型號(hào) 規(guī)格參數(shù) | SEM-90 (A~B) | SEM- 180 (A~B) | SEM- 409 (A~B) | SEM-1260 (A~B) | |||||||
內(nèi)箱尺寸(W*D*H)mm | 350*580*400 | 600*600*500 | 640*640*1000 | 990*1100*1250 | |||||||
工作腔數(shù)量 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | ||||
外型尺寸(W*D*H)mm | 以實(shí)物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同) | ||||||||||
工作溫度范圍 | A1: 室溫～250℃ A2: 室溫～350℃ B1: 室溫～450℃ | ||||||||||
氧含量 | 20%-20ppm可調(diào)節(jié) | ||||||||||
機(jī)器性 能 | 控制精度 | 0.1℃ | |||||||||
分布均勻度 | ±2.0℃% | ||||||||||
升溫 時(shí)間 | ℃ | 250 | 350 | ||||||||
min | 40 | 70 | |||||||||
材質(zhì) | 外部材質(zhì) | SS41 鋼板粉體烤漆處理 | |||||||||
內(nèi)部材質(zhì) | SUS304 不銹鋼數(shù)控折彎成型 | ||||||||||
隔熱材質(zhì) | 陶瓷纖維棉 | ||||||||||
密封材料 | 采用耐高溫硅橡膠 | ||||||||||
循環(huán)系統(tǒng) | 多翼式循環(huán)風(fēng)扇 | ||||||||||
氮?dú)庋b置 | 流量計(jì)大小可調(diào)(L/min) | ||||||||||
加熱器 | 不銹鋼無(wú)塵加熱器 | ||||||||||
計(jì)時(shí)器 | 0.1S～9999H | ||||||||||
溫控器 | 普通標(biāo)準(zhǔn)型/觸摸屏 PLC 程序控制型 | ||||||||||
其它配件 | 隔層置物架（不銹鋼沖孔盤 2 片） | ||||||||||
安全裝置 | 電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù)，風(fēng)機(jī)過載保護(hù)，溫到計(jì)時(shí)時(shí)到斷加熱，故障警示燈 | ||||||||||
選配件 | ①多點(diǎn)測(cè)溫查看及記錄功能；②氧含量分析儀；⑥MES/SECS功能；⑦ 高效過濾器；⑧快速降溫系統(tǒng) | ||||||||||
電源（V） | 220 | AC 3 相 5 線 380V 50HZ | |||||||||
注：1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度（QT）25℃.工作室無(wú)負(fù)載條件下測(cè)得 2、可依客戶要求之尺寸制作，滿足客戶的要求。本技術(shù)信息，如有變動(dòng)恕不另行通知 | |||||||||||
標(biāo)準(zhǔn)功能：
u 再循環(huán)空氣100％通過99.99％HEPA過濾器過濾，用于ISO 5級(jí)（100級(jí)）或高的操作
u 集成的PC 接口，具有實(shí)時(shí)圖形顯示功能
u 氧氣監(jiān)控系統(tǒng)
u 16千瓦加熱器容量
u 自動(dòng)水控制，帶不銹鋼水冷盤管
u 溫度最高可達(dá)（450°C）
u 快速循環(huán)時(shí)間，最高每分鐘5°C
u 溫度均勻性為±2％
u 每層隔板承重23千克
