為滿足半導(dǎo)體封裝測(cè)試行業(yè)對(duì)無(wú)氧化烘烤的需求，慕溯工業(yè)設(shè)備公司根據(jù)該行業(yè)的使用習(xí)慣、材料特性、工藝流程、烘烤的難點(diǎn)、烘烤出現(xiàn)的問(wèn)題；進(jìn)口設(shè)備價(jià)格高昂、供貨周期長(zhǎng)、售后不完善等，結(jié)合行業(yè)專家共同推出此系列 產(chǎn)品。此系列烘箱具有功能齊全、烘烤效果好、使用方便、易于操作、價(jià)格經(jīng)濟(jì)、貨期短、售后及時(shí)等特點(diǎn)；該系列 無(wú)氧化烘箱，于 2012年推出至今已獲得國(guó)內(nèi)外多家知名半導(dǎo)體企業(yè)的高度認(rèn)可。
適用范圍:
適用于半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無(wú)氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。
封裝測(cè)試；所有的 LeadPKG、BGA、MCM；光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜；銀漿固化、模后固化、電鍍退火； 基板除潮、晶圓干燥退火等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、密封 性設(shè)計(jì)：內(nèi)材質(zhì)用SUS304不銹鋼板,整個(gè)內(nèi)桶用氬弧焊滿焊,防止空氣進(jìn)入烘箱內(nèi)，同時(shí)節(jié)省惰性氣體；
2、外部防塵處理：外材質(zhì)為 SPCC 鋼板經(jīng)過(guò)蘇打水清洗后粉體烤漆處理；
3、節(jié)能：保溫材質(zhì)為高密度纖維棉，保溫效果好；
4、分層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：內(nèi)箱層板高低可調(diào)，可自由取出；
5、移動(dòng)自由：箱體有活動(dòng)腳輪，可任意推動(dòng)和固定位置；
6、高效過(guò)濾器：安裝耐高溫高效過(guò)濾器，獲得潔凈的烘烤環(huán)境， Class100；/Class10
7、內(nèi)循環(huán)風(fēng)設(shè)計(jì)：強(qiáng)制送風(fēng)內(nèi)循環(huán)，確保溫度均勻；
8、氮?dú)忸A(yù)熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
9、快速降溫系統(tǒng)：配備冷卻系統(tǒng)，加速降溫，可減少等待時(shí)間，提高效率；
10、寬泛的溫度范圍選擇；
11、極低的氧含量達(dá) 20ppm。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) 規(guī)格參數(shù) | SEM-90 (A~B) | SEM- 180 (A~B) | SEM- 409 (A~B) | SEM-1260 (A~B) | |||||||
內(nèi)箱尺寸(W*D*H)mm | 350*580*400 | 600*600*500 | 640*640*1000 | 990*1100*1250 | |||||||
工作腔數(shù)量 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | ||||
外型尺寸(W*D*H)mm | 以實(shí)物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同) | ||||||||||
工作溫度范圍 | A1: 室溫～250℃ A2: 室溫～350℃ B1: 室溫～450℃ | ||||||||||
氧含量 | 20%-20ppm可調(diào)節(jié) | ||||||||||
機(jī)器性 能 | 控制精度 | 0.1℃ | |||||||||
分布均勻度 | ±2.0℃% | ||||||||||
升溫 時(shí)間 | ℃ | 250 | 350 | ||||||||
min | 40 | 70 | |||||||||
材質(zhì) | 外部材質(zhì) | SS41鋼板粉體烤漆處理 | |||||||||
內(nèi)部材質(zhì) | SUS304 不銹鋼數(shù)控折彎成型 | ||||||||||
隔熱材質(zhì) | 陶瓷纖維棉 | ||||||||||
密封材料 | 采用耐高溫硅橡膠 | ||||||||||
循環(huán)系統(tǒng) | 多翼式循環(huán)風(fēng)扇 | ||||||||||
氮?dú)庋b置 | 流量計(jì)大小可調(diào)(L/min) | ||||||||||
加熱器 | 不銹鋼無(wú)塵加熱器 | ||||||||||
計(jì)時(shí)器 | 0.1S～9999H | ||||||||||
溫控器 | 普通標(biāo)準(zhǔn)型/觸摸屏 PLC 程序控制型 | ||||||||||
其它配件 | 隔層置物架（不銹鋼沖孔盤 2 片） | ||||||||||
安全裝置 | 電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù)，風(fēng)機(jī)過(guò)載保護(hù)，溫到計(jì)時(shí)時(shí)到斷加熱，故障警示燈 | ||||||||||
選配件 | ①多點(diǎn)測(cè)溫查看及記錄功能；②氧含量分析儀；⑥MES/SECS功能；⑦高效過(guò)濾器；⑧快速降溫系統(tǒng) | ||||||||||
電源（V） | 220 | AC 3 相 5 線 380V 50HZ | |||||||||
注：1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度（QT）25℃.工作室無(wú)負(fù)載條件下測(cè)得 2、可依客戶要求之尺寸制作，滿足客戶的要求。本技術(shù)信息，如有變動(dòng)恕不另行通知 | |||||||||||
